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半导体开放世界

先进封装

Advanced Packaging也称 异构集成、Chiplet封装、2.5D集成、3D集成、硅中介层、Fan-Out、TSV、heterogeneous integration

通过高密度横向或垂直互连,把多个裸片、晶圆、无源器件和不同工艺平台集成为一个系统级封装的技术集合。

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速览

约 1 分钟

用更高密度互连、更短路径与异构集成,把一颗或多颗芯片组装成系统级产品形态。

系统理解

约 2 分钟

先进封装不只是『加个外壳』:倒装、2.5D/3D、硅中介层、扇出与 Chiplet 等技术,把带宽、功耗与外形尺寸优化前移到封装层。它让不同工艺节点的裸片协同工作,是延续系统性能的重要路径。与 OSAT、基板/中介层供应链紧密相关。主路径用它说明:芯片产品价值往往在封装集成后才完整释放。

产品化关键步骤:从合格管芯到可交付器件/模块。

公式提示

理想独立缺陷近似下,系统一次装配良率可写成Ysys≈Yassembly·∏Yi;实际还受已知良品筛选、共同缺陷、返修和冗余影响。

关键参数

关键参数
参数单位含义
互连节距与带宽密度—决定单位边长或面积可提供的数据通路和布线压力
每比特能耗pJ/bit跨裸片传输单位数据的能量,受距离、接口和摆幅影响
已知良品率—进入装配前各裸片被充分筛选为合格的比例
结到环境热阻/热耦合K/W限定堆叠功率密度、热点与散热器路径

常见误区

  • 把封装当成与电学无关的机械外壳
  • 认为先进封装可以完全替代先进制程

工程深入

12 条结论 · 1 道例题

系统目标与结构分类

定义

先进封装用封装级互连重新组织系统

先进封装通过高密度RDL、桥接、中介层、微凸点、TSV或键合,把多个裸片和不同器件平台集成为一个电气、热和机械系统。123

成立条件 先进是相对应用和互连能力的工程概念;不由单一封装外形或营销名称定义

边界

2.5D以转接板完成高密度横向连接

2.5D结构通常把多个裸片并排安装在无源或有源转接板上,由细间距RDL横向互连,转接板可用TSV把端口引到底部基板。12

成立条件 有无TSV和转接板材料存在多种实现;并排裸片不自动构成高密度2.5D系统

边界

3D集成以垂直堆叠和层间互连为核心

3D集成把裸片或晶圆垂直堆叠,并用微凸点、混合键合与/或TSV建立层间通路,以缩短连接和提高垂直集成密度。123

成立条件 3D IC封装、3D IC集成和3D硅集成在教材中可有更细分定义;必须说明键合层级和垂直通路

边界

TSV只是垂直导通结构而非完整封装

TSV穿过硅体连接晶圆两侧,可服务转接板、存储堆叠或3D系统;完整产品仍需要RDL、键合、绝缘、薄化、测试和外部封装。13

成立条件 TSV-first、middle、last等路线会改变工艺位置;没有TSV也可实现部分2.5D或混合键合结构

系统拆分、良率与接口

定义

Chiplet是可在封装中组合的功能裸片

Chiplet把原本可能集成在单片SoC中的功能拆成多个裸片,并通过封装级高密度接口组合;它可采用不同工艺节点、材料或供应来源。12

成立条件 需要明确接口、测试和集成契约;多个普通裸片并置不自动具备可复用Chiplet能力

机制

异构集成允许各功能选择合适平台

逻辑、存储、模拟、射频、光电或功率裸片可分别使用适合其性能、材料和成本的工艺,再由封装互连形成系统。12

成立条件 跨材料热膨胀、供电和接口必须协同设计;最佳单裸片不必然组成最佳系统

公式

系统良率由裸片和装配环节共同相乘

在独立失效的简化假设下,多裸片系统一次通过率近似为各裸片良率与装配良率的乘积;增加芯粒数量会增加必须同时成功的环节。12

Ysys ≈ Yassembly · ∏ᵢYi

Ysys
系统一次装配通过率
Yassembly
封装互连和装配良率
Yi
第i颗裸片进入装配时的有效良率

成立条件 独立失效且不考虑返修、冗余和筛选误差;真实成本还需加入裸片面积、测试覆盖、已知良品和封装损失

例题:动手算一次教学假设,可复算

一个教学用多裸片系统由3颗裸片组成,进入装配时有效良率分别为95%、96%和97%,装配互连良率为98%;独立乘积模型下系统一次通过率是多少?

已知

  1. Y₁=0.95,Y₂=0.96,Y₃=0.97
  2. Yassembly=0.98
  3. 各环节失效近似独立
  4. 不计返修、冗余和测试误判

步骤

  1. ∏Yi=0.95×0.96×0.97=0.88464,先求三颗裸片同时有效的概率
  2. Ysys≈0.98×0.88464=0.86695,再乘入装配互连一次成功的概率
结果 系统一次通过率约86.7%。

每个局部良率都接近或高于95%,但多个必须同时成功的环节相乘后,系统一次通过率已明显下降。

不能外推到 该结果不包含相关缺陷、测试逃逸、已知良品置信度、返修、冗余和装配选择策略,不能直接作为量产成本或出货良率。

机制

已知良品测试防止把昂贵装配浪费在坏裸片上

多裸片系统在装配前需要尽可能识别每颗裸片的功能、性能和潜在缺陷,并在装配后继续覆盖互连与系统级故障。12

成立条件 晶圆级可测试性受探针和I/O限制;已知良品不是零缺陷承诺

电热机械与可制造性

机制

高密度并行接口用距离换带宽与能耗

缩短裸片间距离并增加并行通路可提高聚合带宽并降低部分I/O驱动能量,但时钟、协议、串扰、供电和通道一致性仍需系统设计。12

成立条件 收益依接口摆幅、频率、负载和封装几何;短距离不等于信号完整性自动合格

机制

垂直堆叠会把散热路径变成共享约束

上层或内层裸片产生的热量需穿过相邻芯片、界面材料和封装散出,热点会相互耦合,并限制高功率裸片的堆叠位置和同时运行条件。123

成立条件 必须结合功率图、材料热导和边界冷却;更短电连接不代表更低结温

边界

细间距与薄结构会收紧机械工艺窗口

微凸点、薄晶圆、TSV、中介层和大尺寸封装使共面度、翘曲、对准、界面应力和底填完整性相互耦合,局部合格不能替代整包可靠性。123

成立条件 风险随材料、尺寸和温度历程变化;需要结构仿真、过程量测和加速试验交叉验证

关联

先进封装与芯片架构必须共同定义系统边界

芯粒如何划分会决定裸片间流量、协议、功耗和测试,封装互连与散热能力又反向限制划分;架构、封装、制造和供应链需要同步收敛。12

成立条件 接口标准不能替代产品级电热验证;供应来源变化还需重新评估兼容性和可靠性

出处

3 本教材 · 3 处引用
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