芯片制造：半导体工艺制程实用教程（第6版）
Peter Van Zant 著；韩郑生等 译
- 类型
- 教材与专著
- 作者
- Peter Van Zant 著；韩郑生等 译
- 版次
- 第6版
- 语言
- 中文
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第 3 章，第 30–42 页
第 5 章 §§5.1–5.5，第 56–74 页
第 14 章 §§14.1–14.11，第 257–282 页
第 18 章 §§18.1–18.3.7，第 337–342 页
第 18 章 §§18.4–18.4.6，第 342–348 页
第 18 章 §§18.4.6–18.5，第 348–350 页
第 18 章 §18.6，第 355–357 页