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半导体开放世界

LED 电—光—热耦合器件仿真

LED Electro-Optical-Thermal Coupled Device Simulation(LED TCAD / MQW / Current Spreading / Self-Heating)也称 LED多物理场仿真、量子阱电光仿真、电流扩展仿真、LED自热模型、电光热耦合

LED仿真要沿异质能带与量子阱、载流子注入复合、三维电流扩展、热产生传导和光提取逐层传递,而不能用单一IQE曲线代表整个芯片。

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速览

约 1 分钟

一维异质结构模型计算能带、极化、载流子和复合,再把有源区I-V、效率与热源传给三维芯片模型,求电流拥挤和温升;光学射线或波动模型最后计算光如何离开芯片。每一次跨模型传递都要对齐面积、温度、参考面和功率守恒。

系统理解

约 3 分钟

LED纵向有源区包含异质带阶、极化电荷和多量子阱。泊松方程、漂移扩散与复合模型给出偏压下的载流子分布,薛定谔或量子修正计算限制态与波函数重叠。辐射、SRH和Auger项共同决定内部复合;波函数重叠增加只说明某类跃迁矩阵元可能增强,不能单独保证IQE或EQE提高。

芯片横向尺度远大于量子阱厚度,常采用降阶耦合:先由一维有源区得到局部电流—电压—效率关系,再在二维/三维导电层、电极和接触中求电势及电流扩展。这个传递若忽略局部温度、片电阻、接触电阻或有源区非均匀,就会低估电流拥挤。

热源包括串联与接触焦耳热、非辐射复合、吸收和未转化为外部光的电功率。热方程还需芯片、衬底、键合、封装和冷却边界;只模拟裸芯片并固定底面温度,不能直接预测封装结温。温升反过来改变带隙、迁移率、接触、电阻、复合与光谱,必要时应自洽迭代。

电极加密可能改善均流,却同时增加吸光、刻蚀面积损失、寄生电阻和制造复杂度。仿真优化应同时看电流密度分位数、局部温度、光输出、有效发光面积与容差,而非只比较一张更均匀的云图。最终需以I-V、光功率、光谱、热阻/结温和空间EL地图交叉验证。

承接氮化物LED异质结构、量子阱、芯片电极与热阻,向后连接版图优化、晶圆电光测试、封装和可靠性。

公式提示

稳态总功率需满足Pelec=V·I≈Popt,out+Qdevice+Qpackage+储能变化(稳态为零);局部焦耳热qJ=J·E或近似J²/σ,必须与接触和复合热源避免重复计入。

关键参数

关键参数
参数单位含义
量子阱/势垒厚度、组分、极化与应变nm / % / C·m⁻² / %决定限制态、带弯曲和波函数重叠
B、SRH寿命、Auger系数与载流子泄漏cm³·s⁻¹ / s / cm⁶·s⁻¹ / %分解辐射和非辐射损失
片电阻、接触电阻和电极几何Ω/□ / Ω·cm² / µm控制三维电流扩展与拥挤
热导率、界面热阻和冷却边界W·m⁻¹·K⁻¹ / m²·K·W⁻¹ / W·m⁻²·K⁻¹决定温升和反馈
I-V、EL/PL、光谱、光功率与结温地图V/A / a.u. / nm / W / K构成多输出验证集

常见误区

  • 把波函数重叠增大直接等同EQE提高
  • 把归一化光谱当作绝对光功率
  • 认为电极越多电流越均匀且没有代价
  • 只用芯片固定温度模型预测封装结温
  • 把单次参数扫描的单调趋势当成普适设计规律

工程深入

12 条结论 · 1 道例题

纵向有源区

机制

异质带阶极化和应变共同塑造量子阱势能

组分和层厚之外,压电与自发极化、应变松弛和界面电荷都会改变电子空穴限制与波函数。12

成立条件 晶向和极性明确;应变与极化参数经过校准

量子限制

机制

薛定谔与泊松方程需要自洽连接限制态和电荷

限制能级和波函数决定载流子占据,载流子与极化电荷又改变电势,单次未自洽能带计算可能高估重叠。13

成立条件 有效质量或k·p模型适用;边界与占据统计一致

光谱解释

边界

波函数重叠增大不自动等于外量子效率提高

注入、态占据、非辐射复合、光子逃逸与热反馈仍可限制光输出,归一化谱也不含绝对功率。14

成立条件 区分IQE、EQE和提取效率;光谱具绝对或相对标定说明

降阶耦合

机制

一维有源区关系可作为三维芯片局部本构

先求局部I-V、复合和效率,再按面积与温度映射到电流扩展模型,可降低量子阱到毫米芯片的尺度成本。12

成立条件 横向局部平衡近似成立;映射保留面积和温度依赖

电流扩展

机制

片电阻和接触电阻共同形成电流拥挤

高片阻透明层、有限接触和电极间距造成横向电位降,使发光区电流密度不均并产生热点。15

成立条件 各层电导率张量和接触率已知;边界电流与焊盘位置真实

电极折中

边界

增加电极数量同时改善均流并增加遮光和面积损失

电流最大值下降不能单独定义最优版图,还需计算金属吸收、刻蚀损失、串联电阻和制造容差。14

成立条件 同一芯片面积和总电流;比较绝对光功率与有效有源区

热源分解

关联

焦耳热非辐射热和吸收热需要避免重复计入

电功率减去外出光只是总热约束,局部热源还需按电阻、复合与光吸收分配并检查能量守恒。15

成立条件 稳态或瞬态储能项明确;同一参考体积和功率符号

热边界

边界

固定底温裸芯片模型不能直接给出封装结温

芯片连接、基板、界面、封装和冷却构成串并联热路径,省略后只能比较给定边界内的相对趋势。12

成立条件 热参考面声明;封装界面热阻独立测量

热反馈

机制

温升会反向改变电流光谱复合和热源

带隙、迁移率、接触电阻、复合系数和量子效率随温度变化,使一次单向电到热映射在强自热时失效。14

成立条件 参数温度函数覆盖工作区;迭代至功率与温度闭合

空间验证

关联

空间EL和热图能约束只看总I-V遗漏的非均匀

总端口电流相同的多种内部电流分布可能给出相似I-V,发光和温度地图可揭示电流拥挤与暗区。16

成立条件 图像经过响应和坐标校准;同一偏压电流和温度

参数扫描

边界

单组掺杂扫描的单调趋势不是普适优化规则

量子垒掺杂还会影响补偿、迁移率、缺陷、界面和生长可实现性,模型内最优点需由实际结构验证。12

成立条件 扫描其余参数保持一致;制造和测量边界被纳入

焦耳热算例

公式

一百安每平方厘米和一毫欧平方厘米接触产生十瓦每平方厘米热流

算例说明接触热源按J平方快速增长,但真实接触还可能随温度电流和空间位置变化。15

q''contact=J²ρc=100²×10⁻³=10 W/cm²

q''contact
接触面热流密度,单位 W/cm²

成立条件 J=100 A/cm²;ρc=1×10⁻³ Ω·cm²;均匀接触

例题:动手算一次教学假设,可复算

电流密度100 A/cm²、比接触电阻1 mΩ·cm²时接触焦耳热流是多少?

已知

  1. J=100 A/cm²
  2. ρc=0.001 Ω·cm²

步骤

  1. J²=10000 A²/cm⁴,电流密度平方。
  2. q''=10000×0.001=10 W/cm²,乘比接触电阻。
结果 10 W/cm²。

局部拥挤会显著放大接触发热。

不能外推到 假设接触均匀且ρc常数;未含电流收缩、温度系数、界面空洞和瞬态热容。

出处

6 份资料 · 8 处引用
  1. 1

    微纳制造与半导体器件

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  2. 2

    Multiscale Modeling and Validation of Semiconductor Materials and Devices

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  3. 3

    Sesame: Optoelectronic Modeling in Multiple Dimensions

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  4. 4

    High-brightness lasing at submicrometer enabled by droop-free fin light-emitting diodes

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  5. 5

    Charon User Manual: Semiconductor Device Simulation

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  6. 6

    Physics for Device Simulations and Its Verification by Measurements

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