跳到正文
半导体开放世界

Adhesion between Template Materials and UV-Cured Nanoimprint Resists

Frances A. Houle et al.

类型
论文
作者
Frances A. Houle et al.
出版
IBM Research / SPIE Advanced Lithography · 2006
原始链接
打开原始来源（新标签页）

本站引用的位置1 处，涉及 2 个知识点

  1. SPIE Advanced Lithography 2006 §Abstract，template-resist separation experiments